工业气体高纯气体的分析方法

　　分析标准气体的方法很多，但常用的主要有：气相色谱法、化学发光法、非色散红外法以及用于微量水和微量氧分析的其他方法。

　　气相色谱

　　气相色谱法适用于氢气、氧气、氮气、氩气、氦气、一氧化碳、 二氧化碳等无机气体，甲烷、乙烷、丙烯、及C3以上的绝大部分有机气体的分析。通过直接法、浓缩法、反应法等样品处理技术的应用，分析的含量范围为10-9~99.999%。所以，气相色谱法也是分析标准气体中应用最多、最普遍的方法。

　　化学发光法 　　　

　　化学发光法是利用某些化学反应所产生的发光现象对组分进行分析的方法，具有灵敏度高，选择性好，使用简单方便、快速等特点。因些，适用于硫化物、氮氧化物、氨等标准气体的分析。

　　非色散红外分析法 　

　　非色散红外气体分析器是利用不同的气室和检测器测量混合气体中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等组分的含量。非色散红外气体分析器主要由红外光源、试样室、滤波器、 斩波器、检测器、放大器及数据显示装置组成。

　　微量氧分析仪

　　在高纯气体的分析中，几乎所有的高纯气体（高纯氧除外）中都要求准确测定其中微量氧的含量。由于大气中含有大量的氧，准确测定高纯气体中微量氧乃至痕量氧，是气体分析中的难点之一。随着气体工业和仪器工业技术的不断进步，国内外分析仪器厂家已生产出不同原理的微量氧分析仪。